三维表面形貌测量仪InfiniteFocus

自动变焦三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G4

自动变焦三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G4由奥地利alicona公司研发生产，是一款用于实验室研究和生产控制的高分辨率光学三维表面测量仪，它将形貌测量和粗糙度测量*地结合在同一个系统中，垂直分辨率达10nm。

自动变焦 G4的主要功能：

表面形貌测量

粗糙度测量

表面纹理测量

体积测量

二维图像测量

重复性测量任务的编程操作

形状测量

偏差测量

轮廓测量

刃口测量

自动变焦 G4的技术参数：

位移范围(X、Y、Z轴)：100×100×100mm

样品表面结构：表面形貌Ra＞10-15nm，Lc=2µm

zui大样品高度：100mm-240mm

zui大样品倾斜角：85°

zui大扫描高度：22mm

*垂直分辨率：10nm

zui大扫描面积：10000mm2

zui大单一扫描范围：100mm

zui小测量粗糙度（Ra）：30nm

zui小测量粗糙度（Sa）：15nm

zui小测量半径：1µm

zui小测量角度：20°

自动变焦 G4的主要特点：

能够同时测量形貌和粗糙度
能够测量小半径和小角度
能够测量超过80°的斜面
标准真实的颜色信息
提供360°的形状和粗擦度测量
检测具有不同表面特征的表面